众所周知,近日关于光刻机的禁令靴子落地了。
按照荷兰的规则,用于14nm及以下芯片的制造的设备/技术,不能出口,除非获得许可证。原则基本与美国是一致的。
在光刻机上,荷兰稍微的放开了一点点,那就是浸润式光刻机中,TWINSCAN NXT:2000i及后续型号不能出口,但NXT:1980Di可以出口。
(资料图片)
这款NXT:1800Di光刻机,非常特殊,采用193nm光源,分辨率小于等于38nm,数值孔径为1.35NA,目前全球晶圆厂们在使用它时,大多是生产14nm以上逻辑工艺,也就是28nm及以上。
但另外一方面,它又是一台浸润式光刻机,虽然是193nm光源,但经过水介质之后,等效于134nm的光源,那么经过多重曝光之后,理论上依然可以满足14nm甚至7nm左右的工艺生产。
所以它是一台比较敏感的光刻机,可以禁止出口,也可以不禁止,就看如何去定性了。
也因为它的敏感性,ASML也有点左右为难,所以有媒体报道称,ASML正在做一个计划,那就是阉割这台NXT:1980Di光刻机,使其不敏感,能够不受争议的出口到中国来。
怎么阉割呢,就是对其支持的工艺进行改进,比如说让它无法支持到14nm及7nm这个级别,只能让他用于28nm工艺。
这样ASML就可以没有争议的将它出口出去,不会有任何问题。
要知道之前日本,为了解决这种有争议的设备,也就是既能用于28nm及以上的工艺,也能用于14nm及以下工艺的设备,日本是直接一刀切,全部禁止出口的。
但对于ASML而言,又不想这么干,因为如果一台浸润式光刻机也不能卖到中国来,那么中国有可能研发出自己的光刻机,那么ASML就可能与中国市场无缘了。
ASML的总裁温克宁曾经说过说,如果对中国进行禁售,要不了多久,中国什么都能自己搞出来,那么就没我们什么事了。
所以对于ASML而言,一方面是不想丢掉中国这个市场,但另外一方面又要让出口的光刻机,没有争议,所以阉割其受争议的功能,确实是一个好办法,毕竟英伟达、英特尔都干过类似的事情,将芯片进行阉割,让它能够符合出口禁令,不被管制。
当然,以上也只是媒体的猜测,ASML会不会真的这么干,还是一个未知数,但说实话,这事是完全有可能发生的,因为ASML有动力,有理由这么干。
最后,还是希望国产光刻机赶紧雄起,先不说EUV光刻机,只要我们自己能够研发出浸润式光刻机,情况就会立即改变,一旦我们有了,禁令估计也就没有任何意义了,就像刻蚀机一样,我们拥有3nm技术的刻蚀机,所以刻蚀机就不存在禁令。
原文标题:ASML为应对芯片禁令,或推中国特供光刻机?阉割7nm/14nm能力
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